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人才详情
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安教授
职务: 研究员
来源国家: 加拿大
毕业院校QS: 63
工作单位QS: TOP300
主要研究方向: 射频微机电系统谐振器、微传感器、声学微机电系统、惯性传感器
技术专长:

核心领域:压电 MEMS 谐振器设计、多物理场仿真、器件表征与商业化制造

技术方向:

MEMS 谐振器设计与优化:专攻 AlN-on-Si 压电谐振器(轮廓模式、酒窝模式、按钮模式、方形扩展模式),致力于提升液相环境下的品质因数(Q 值),用于传感与时序应用;

超声换能器(PMUT/CMUT):设计压电微加工超声换能器,优化灵敏度与带宽,应用于测距、成像等领域;

传感器与执行器:研发多轴 MEMS 加速度计、微镜(用于 OCT)、微扬声器,覆盖工业监测与消费电子场景;

制造工艺与流片:精通 PIEZOMUMPS、POLYMUMPS、Teledyne DALSA MIDIS™ 等商业工艺,具备掩模版图设计(L-Edit)、MPW 流片、真空封装等全链条经验;

液相传感:探索谐振器在液体中的电学表征,解决寄生电容与馈通问题,应用于生物/化学传感。

工具与技能:ANSYS/COMSOL 多物理场仿真、网络分析仪与锁相放大器实验表征、C++ 编程,具备从概念设计到产业化落地的完整能力。

专家详情:

【重要履历】主导与 Stathera 公司合作的 MEMS 谐振器行业项目,此前在蒙特利尔高等技术学院(ETS)担任研究助理,并曾在中国南昌微系统研究所和江苏 IntelliSense 公司担任研发工程师。获香港城市大学电子工程博士学位(研究方向为压电 MEMS 谐振器在液相中的电学表征),拥有逾七年 MEMS 设计、制造与测试的产学研经验。曾获香港研究资助局博士奖学金及多项会议旅行资助,并担任 IEEE Sensors 等权威期刊的常任审稿人。

【技术能力】精通压电(AlN)与静电驱动 MEMS 谐振器的设计、多物理场有限元仿真(ANSYS、COMSOL)及器件表征(网络分析仪、锁相放大器、探针台等),熟悉 PIEZOMUMPS、POLYMUMPS 和 Teledyne DALSA MIDIS™ 等商业化 MEMS 制造工艺。掌握从掩模版图设计(L-Edit、Altium)到真空封装、MPW 流片的全链条开发能力,并擅长液相传感、超声换能器(PMUT/CMUT)、加速度计及微镜等器件的创新设计与优化。

【标志性成果】发表了多篇 IEEE 权威期刊论文(含 TED、T-UFFC、JMEMS),并在 IEEE MEMS、Transducers 等顶级会议作口头报告(曾入围 IFCS 最佳学生论文决赛)。核心贡献包括:提出基于压电-硅圆形谐振器的液相增强品质因数方案、全差分酒窝模式谐振器(实现馈通抑制与灵敏度提升)、以及通过模式耦合与拓扑结构增强 Q 值的谐振器阵列技术。持有 MEMS 谐振器温度稳定性优化的美国临时专利,并指导了多名研究生在 PMUT 测距与谐振器温度补偿方面取得突破性成果。研究获加拿大自然科学与工程研究委员会(NSERC)资助,持续推动 MEMS 在时序参考与传感应用中的产业化落地。